設備用途：
● RCA清洗機
● 柵極預清洗
● 碳化矽腐（fǔ）蝕
● 光阻去除
● 氧化矽腐蝕
● 有機清（qīng）洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導腐蝕（shí）
Bench批次式（shì）濕法設備
設（shè）備用途：
● RCA清洗機
● 柵極預清洗
● 碳（tàn）化（huà）矽腐蝕（shí）
● 光阻去除（chú）
● 氧化矽腐蝕（shí）
● 有機清洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導腐蝕
● RCA清洗機
● 柵極預清洗
● 碳（tàn）化（huà）矽腐蝕（shí）
● 光阻去除（chú）
● 氧化矽腐蝕（shí）
● 有機清洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導腐蝕
● RCA清洗機
● 柵極預清洗
● 碳化矽腐（fǔ）蝕
● 光阻去除
● 氧化矽腐蝕
● 有機清（qīng）洗
● 晶圓 Recycle
● TGV複合誘導腐蝕（shí）
